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EDWARDS 钛离子泵系列
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产品: 浏览次数:3EDWARDS 钛离子泵系列 
品牌: EDWARDS
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最后更新: 2023-09-05 17:13
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详细信息
    也称为溅射离子泵或离子吸气泵,是使用阳 /阴 阵列电离气体的捕获泵。离子溅射反应性阴 材料,产生将电离气体转化为固体化合物的化学反应。这些化合物不再有助于真空系统的压力,并被永久捕获在离子泵内。离子泵可以在 10-5 到 10-12 mbar 的范围内运行,氮气的大小范围为 0.2 到 1,200 l/s。
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