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EDWARDS磁悬浮涡轮分子泵
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产品: 浏览次数:51EDWARDS磁悬浮涡轮分子泵 
品牌: EDWARDS
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-11-22 21:11
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详细信息
Advanced 系列提供高水平的吞吐量,非常适合您的半导体蚀刻和 CVD 工艺:
占地面积小
吞吐速度从 300 l/s 到 4,500 l/s
吞吐量高达 6 slm 并提高了 H2、N2 和 Ar 性能 
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